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SEM用画像解析ソフトウェア『Scandium』

『Scandium』汎用SEMイメージングプラットフォーム

写真

デジタル化は、顕微鏡分野全域に拡がっており、ソフトウェア制御された顕微鏡はキャッチフレーズになっています。今や可能になった新しい機会は顕微鏡や研究機関の世界で働く人々の作業環境を激変させています。

また画像処理ソフトウェアと組み合わせることにより、以前は不可能と思われていたことも現実になりつつあります。画像やデータはデジタル的に取り込まれ、転送され、保存、解析され最大限の効果を発揮しています。

顕微鏡は、包括的なワークフロー構造のもと完全に自動化されリモート制御されるようになりました。『Scandium』は、このような現在のSEMイメージングのタスクに理想的なプラットフォームです。

電子顕微鏡コントロール

顕微鏡の種類に応じて広範囲に渡る顕微鏡機能をソフトウェア制御出来ます。また顕微鏡情報(XMI形式)も保存可能です。

ユーザーフレンドリーワークフロー

直感的なユーザーインターフェイスが作業効率をUPさせます。

自動画像転送

イメージバッファ、データベース、レポートへの自動画像取込が可能です。

SEM画像&EDSスペクトルデータのインポート

画像データと共に顕微鏡情報の取り込みやグラフ機能による各社スペクトルデータの取込、表示が可能です。

インタラクティブ計測機能

ライブ画像への計測が行えます。

マルチフェーズ解析

複数閾値指定による表面解析が行えます。

データベース構築

画像ファイル、シート、ダイアグラム、レポートその他の ユーザーのファイルの管理が可能です。

レポート機能

インテリジェントなレポートジェネレータ機能により簡単操作でレポート作成が行えます。

マクロレコーディング

簡単なマクロ作成機能を搭載しています。

※組合せて使用出来る豊富なオプションソリューションも取り揃えております

基本仕様

画像取り込み

機能名称 詳細仕様
画像転送 直接アップロード(イメージバッファ、データベース、レポートテンプレート)
画像フォーマット *.tif、*.jpg、*.bmp、*.pcd、*.eps、*.png、etc
画像タイプ バイナリー8bitグレー、8bitカラーパレット、16bitグレー、トゥルーカラー(24bit RGB)
動画作成/AVIレコーダ 複数シリーズ画像或いはライブ画像からの直接ムービー作成

拡張画像取り込み

機能名称 詳細仕様
MIA:Multiple Image Alignment パノラマ画像機能

拡張顕微鏡情報

機能名称 詳細仕様
画像情報 画像取込中の顕微鏡設定に関する追加情報取込

リモート制御

機能名称 詳細仕様
オートメーション 顕微鏡の種類に依存
電動ステージ 顕微鏡の種類に依存

アーカイブ&ドキュメンテーション

機能名称 詳細仕様
STAR 画像データベース構築
レポート レポートジェネレータ
オーバレイ ラベリング用のテキスト挿入、矢印、他(ライブ画像にも可)

画像処理

機能名称 詳細仕様
輝度 最大コントラスト/平均化処理/濃度値変更、他
濃度変更 8/16bit、カラー8/24bit、2値化
プレビュー機能付フィルタ シャープ、エッジ強調、平均化、メディアン、浮き彫り、ソーベル、ロバーツ、Reimer、ユーザーフィルタ、N×N、ローパス、連結、シャープ、微分、ラプラス、ランク、シグマ、DCE(Differencial Edge Enhancement)、シェーディング補正、セパレータ(粒界抽出)
モフォロジカルフィルタ 収縮、膨張、オープン、クローズ、グラディエント、トップハット、スケルトン、他
3D表示 3D投影図、3Dアニメーション、等高線表示、テクスチャ
3D処理 3D計測
グラフ グラフ表示、一次元データの処理・評価
EDX インポート、共通EDXファイルの表示・処理
ポケットカリキュレータ 四則演算、and、or、XOR、絶対値

セレクション

機能名称 詳細仕様
ベーシック フレーム、マスク
ROI ポリゴン、長方形、バーチャルROI、他

データ出力

機能名称 詳細仕様
グラフ 可視化、ダイアグラム処理&解析
結果 シート、統計、ダイアグラム、クラス分類

インタラクティブ計測

機能名称 詳細仕様
標準計測 カウント、距離(水平、垂直、任意)、輝度プロファイル、角度、ポリゴン、面積、周囲長、他、マジックワンド、chai計測

プログラミング

機能名称 詳細仕様
マクロレコーダ スクリプト、プレイングバックシーケンス

拡張オプション

機能名称 詳細仕様
Detection フレキシブルな粒子検出、解析、クラス分類機能。計測パラメータは100項目以上
Height ステレオ表示、サーフェイスレンダリング機能や荒さ計測を備えた表面計測ツール
Automation 単結晶・多結晶の回折像キャリブレーション、指数付け、計測を含めた回折パターン解析

オプションソリューション

オプション名 サンプル画像 詳細
Detection Detection 粒界を分離し閾値を元に粒子を解析するための包括的かつ高性能の拡張ソフトウェア
  • モフォロジカルフィルタリング
  • 粒子分離ツール(セパレータフィルタ)
  • 複数フェーズ粒子解析
  • 豊富な解析パラメータリストは解説付き
  • クラス分類
  • ROI
Height Height ステレオ表示、サーフェイスレンダリング機能や荒さ計測を備えた表面計測ツール
  • 2枚のチルトペア画像からのステレオ表示、3D再構築
  • 高さ計測
  • EFI(拡張焦点機能):異なるフォーカス画像からの全焦点画像作成及びサーフェイスレンダリング
  • 粗さ計測
  • 3D情報の可視化
Automation Automation 顕微鏡の電動ステージの自動ポジショニングをサポート
ウェハーやリソグラフマスク上のDieを直接アドレス化
  • 電動ステージの自動制御
  • 自動更新プロセスの完全オートメーション
  • ウェハーのポジショニング
Metrology Metrology CD計測等への自動計測ツール
  • 対象構造物の自動キャリパーツール
  • 座標定義、インターセプト、角度、半径、距離
  • 計測の自動更新
  • 半導体の自動ライン計測
  • 臨海面の統計評価(CD)
  • 断面のサンプルの単一・複数レイヤーの厚さ計測
Metallography Metallography 定量的に金属組織解析を行うツール
  • 標準粒界構築
  • インターセプト・プレーンメトリックグレインサイズ計測
  • 鋳鉄解析
  • ヌープ・ビッカースマイクロ硬さ試験
  • ASTM或いはDIN、JISに拠る解析結果
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