西華産業株式会社
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TOP製品情報計測機器・システムVEL大出力エキシマレーザー
VEL大出力エキシマレーザー、レーザーアニール装置 お問合わせ
VEL図

【特徴】

Very Large Excimer Laser (VEL)はフランスSOPRA社で開発された大型エキシマレーザーです。

従来のレーザーと比較して1パルス当たりのエネルギーが大きい事が特徴となっています。

今までのレーザーでは不可能であった大面積での処理やより大きなエネルギー密度を必要とするアプリケーションに是非ご検討下さい。

 
このシリーズでは2種類のタイプを揃えています。

VEL10 レーザー出力10J/ショット 繰り返し周波数100Hz

VEL15 レーザー出力15J/ショット 繰り返し周波数0.16Hz

VEL15 レーザー出力15J/ショット 繰り返し周波数1Hz

VELイメージ画像
このシリーズはフランスの航空宇宙局(ONERA)の開発したX線ガンにより、均一なプリイオニゼーションを実現しました。この事により大出力パルスの発振が可能となり、同時にパルス間の安定性に優れたレーザーを作成する事ができました。
またメンテナンス性に優れた特徴を持っており、安定した稼動が望めます。 大面積にたいして均一な処理が必要なアプリケーションに最適です。
昨今注目されているUltra Shallow Junction など半導体プロセスに、また液晶や有機EL向けドライバーに使用されている低温ポリシリコンプロセスに是非ご活用ください。
また、光学系やチャンバーシステムなど各種オプションに対応いたします。
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