お問い合わせ

製品情報 半導体・電子

UVAT Technology
プラズマ真空装置

  • プロダクト
メーカー名
UVAT Technology Co., Ltd
  1. TOP
  2. 製品情報
  3. 半導体・電子
  4. UVAT Technologyプラズマ真空装置

FOWLP/PLP、先端パッケージ対応
高性能プラズマスパッタ、ドライエッチング装置

当社はUVAT Technology Co., Ltd社の日本総代理店です。
半導体先端パッケージ、Fan-Out WLP、Fan-Out PLP、FC-BGAサブストレート用途向けに真空装置各種をご提案します。
めっき前デスカム、レーザー後デスミア、絶縁層全面エッチング、Ti/Cuシード層ドライエッチング、 Pdドライエッチング、プラズマドリルによるトレンチ、ビア形成、Ti/Cuスパッタ、EMIシールドスパッタ 国外大手の半導体メーカー、サブストレートメーカー、OSAT、ファウンダリーに豊富な実績があります。

先端パッケージ向けプラズマ装置

uvat_img_001.png

先端サブストレート向けプラズマ装置

uvat_img_002.png

パネル Fan-Out/チップ埋め込み用プラズマ装置

uvat_img_003.png

この製品に関するお問い合わせは
こちらからお願いいたします

お問い合わせ
製品情報一覧

関連製品